SI-TM508/608石英晶體膜厚監(jiān)測儀
產品特點
本機采用我公司專有的高速高精度頻率測量技術、計算機控制技術、高超的軟件編程技術及精湛的設計、加工與裝調水平開發(fā)與制造。引入模塊化設計理念，整機實現(xiàn)模塊組合，可為您提供最優(yōu)化的和最經濟的產品。本產品廣泛應用于光學鍍膜機、OLED 生產線、半導體 IC 生產線及其它高精準膜層厚度控制的鍍膜機。
所屬分類：
石英晶體膜厚儀
關鍵詞： SI-TM508/608石英晶體膜厚監(jiān)測儀
產品描述
一、產品特點
本機采用我公司專有的高速高精度頻率測量技術、計算機控制技術、高超的軟件編程技術及精湛的設計、加工與裝調水平開發(fā)與制造。引入模塊化設計理念，整機實現(xiàn)模塊組合，可為您提供最優(yōu)化的和最經濟的產品。本產品廣泛應用于光學鍍膜機、OLED 生產線、半導體 IC 生產線及其它高精準膜層厚度控制的鍍膜機。整機如下特點：
● 高速高精度測量。采用本公司特有的頻率測量技術，頻率測量分辨率為 0.002Hz（6MHz），測量速度為 10 次/S。
● 模塊式結構。本控制儀中測量板、主控制器等實現(xiàn)模塊化設計，根據具體情況可以進行任意組合或增減。甚至測量模塊可以實現(xiàn)高精度與普通精度模塊的混裝。
● 圖形化界面、7 吋觸屏操作。本控制儀全部采用圖形化界面，觸屏操作。具有操作便捷、顯示直觀易懂等特點，并可提供在線幫助。
二、產品規(guī)格
1、測量模塊
| 項目 | TM508 普通精度 型 | TM608 高精度型 | 說明 |
| 測量板輸入通道 | 每塊測量板兩個測量通道，獨立運行控制 | 每臺監(jiān)測儀最多可安裝 4 塊測量板。普 通精度和高精度測量板可以混裝。 | |
| 頻率測量分辨率 | 0.03Hz | 0.002Hz | 當測量頻率為 6MHz 時 |
| 頻率穩(wěn)定度 | ±0.1Hz | ±0.01Hz | |
| 基準源類型 | 普通石英晶振 | 恒溫石英晶振 | TM608 開機后必需預熱 15 分鐘以上，以保證測量穩(wěn)定度。 |
| 基準源長期穩(wěn)定度 | ±100ppm | ±1ppm | 溫度范圍：-40~85℃ |
| 測量更新速率 | 10 次/S | 單次測量時間為 0.1S | |
| 頻率測量采樣時間 | 0.1~10S | ||
| 膜厚測量精度 | 0.1? | 0.01? | 鍍膜材料：“鋁” |
| 速率測量精度 | 0.1?/S | 0.01?/S | |
| 測量準確精度 | <0.5% | <0.2% | 水冷探頭，水溫變化 |
| 晶片初始頻率 | 6MHz | 直徑 14mm | |
2、顯示與操作
顯示器規(guī)格： 7 英寸 TFT 真彩液晶顯示屏
操作方式： 電容式觸摸屏
遠程控制方式： RS232、RS485 通訊接口
3、其它參數(shù)
供電電壓： AC220V
消耗功率： <50W
機箱尺寸： 335x140x160mm
存儲溫度： -20~50℃
使用溫度： 5~35℃
環(huán)境溫度： <80%(相對溫度)不結露
海拔高度： <2000m
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